Evatec Process Systems (CH)
Wafer Handling:

Dieses roboterbasierte Handlingmodul ergänzt das flexible Sputter-System LLS EVO II von Evatec durch eine vollautomatische Beschickung mit Wafern direkt aus der Kassette. Es ist für unterschiedliche Wafergrößen bis zu 8 Zoll erhältlich und bietet verschiedene Optionen, wie etwa Wafer-Maskierung, Flat- / Notch Ausrichtung oder Barcode-Leser.

Merkmale:

  • Vollautomatische Beschickung aus der Kassette heraus
  • Roboter der Reinraumklasse 10
  • Sehr kleiner Footprint

PDF: Produktbeschreibung LLS EVO 2